影響設備安裝精度的因素有：設備基礎、墊鐵埋設、設備灌漿、地腳螺栓、設備制造、測量誤差、環境因素等。
(一)設備基礎
設備基礎對安裝精度的影響主要是強度、沉降和抗振性能。
(二)墊鐵埋設
墊鐵埋設對安裝精度的影響主要是承載面積和接觸情況。
(三)設備灌漿
設備灌漿對安裝精度的影響主要是強度和密實度。
(四)地腳螺栓
地腳螺栓對安裝精度的影響主要是緊固力和垂直度。
(五)設備制造
設備制造對安裝精度的影響主要是加工精度和裝配精度。
(六)測量誤差
測量誤差對安裝精度的影響主要儀器精度和基準精度。
測量過程包括測量對象、計量單位、測量方法和測量精度四個要素
(1)形狀誤差是指被測實際要素對其理想要素的變動量。主要形狀誤差有直線度、平面度、圓度、圓柱度等。
(2)位置誤差是指關聯實際要素的位置對基準的變動全量。主要位置誤差有平行度、垂直度、傾斜度、同軸度、對稱度等。
(七)環境因素
環境因素對安裝精度的影響主要是溫度變形、設備溫度變形和惡劣環境場所。